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半導(dǎo)體表面灰塵清洗方法

發(fā)布時間：2023-04-19
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                 液態(tài)二氧化碳清洗設(shè)備清洗半導(dǎo)體激光芯片前后對比
 
 
半導(dǎo)體表面灰塵清洗是非常關(guān)鍵和極其重要的步驟，因?yàn)楸砻娴幕覊m可能會降低芯片的電性能和可靠性。以下是常用的半導(dǎo)體表面灰塵清洗方法：
 
1. 空氣吹掃：使用高壓空氣吹掃表面的灰塵，這是一種快速和便捷的清洗方法，但要注意吹洗的壓力和方向不要對芯片造成任何傷害。
 
2. 液態(tài)二氧化碳清洗：俗稱雪花清洗，屬于干式清洗，利用液態(tài)二氧化碳低溫和爆破的特性，通過壓縮空氣將液態(tài)二氧化碳噴射的半導(dǎo)體表面，清洗能力優(yōu)于直接空氣吹掃，因?yàn)橐簯B(tài)二氧化碳噴射后直接生化，亦不會產(chǎn)生二次污染，所以適合用來清洗不適合用化學(xué)方式清洗的產(chǎn)品。
 
3. 離子清洗：通過離子束清洗、離子轟擊等技術(shù)將表面的灰塵和有機(jī)物質(zhì)清洗干凈，該方法可以清除芯片表面10納米以內(nèi)的灰塵。
 
4. 溶液清洗：將芯片表面浸泡在溶液中，如高純度酒精或去離子水中進(jìn)行清洗。需要注意的是，要選擇合適的溶液，不能使用會導(dǎo)致表面損壞或化學(xué)反應(yīng)的溶液。
 
5. 超聲波清洗：將芯片放入超聲波清洗器中進(jìn)行清洗，利用超聲波的磨擦作用去除表面的灰塵，該方法適用于灰塵比較輕薄的情況。
 
需要指出的是，以上清洗方法只能選擇其中一種或者多種組合使用，具體的選擇因半導(dǎo)體產(chǎn)品情況而異。在清洗過程中，要注意保持清洗空間的潔凈和干燥，以免對產(chǎn)品造成二次污染。
 
 
 
 
ꄴ前一個： 半導(dǎo)體表面清洗
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